透過密閉型 マイクロフォーカスX線源
G-311MH-D / G-311MH-DP /
G-311ML-D / G-311VH-D

高解像度で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源

・パルス照射(G-311MH-DP)
   装置ランニングコスト低減(X線源とX線センサの長寿命化)、
   測定物の低被爆化
・低管電圧撮影(G-311ML-D)
   ソフトマテリアルの高コントラスト撮影
・ハイパワー(G-311VH-D)
   高出力で撮影スループット向上

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特 長

1. 110kV昇電圧 ・素早い画像取得

2. ターゲットメンテナンスフリー ・ターゲットの回転調整不要
・装置稼働率の向上

3. ウォームアップ3分以内・立ち上げ時の長い待ち時間の解消
・長期保管後のエージング不要

4. X線管寿命の自己診断機能・計画的な装置保守に貢献

5. 10Wで4μmを解像・高倍率で高撮影スループット

6. RoHSⅡ対応※1・海外運用に対応

    ※1 CEは2017年中に対応予定

撮影画像例
  • ボンディングワイヤ

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    100kV 100μA (300x)

  • フリップチップ

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    80kV 60μA (300x)

  • BGA

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    90kV 100μA (120x)

  • タイヤ

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    40kV 100μA (1x)

仕 様
項目 単位 G-311MH-D G-311MH-DP G-311ML-D G-311VH-D
消費電力 (最大) W 40 65
制御 - 連続、パルス
パルス ソフトウェア ≧1sec ハードウェア ≧50ms ソフトウェア ≧1sec
最小分解能(JIMA RT RC-02B) μm 4 4 - 5 4 - 8
管電圧動作範囲 kV 60 - 110 40 - 110 60 - 110
管電流動作範囲
(ターゲット電流)
μA 10 - 100 10 - 300
最大出力 W 10 30
入力電源 V 24
動作温度 10 - 40
保管温度 0 - 50
湿度(動作、保管) % ≧85(結露なし)
高圧電源 - 内蔵
X線管 - 透過密閉型
冷却方式 V 強制空冷
X線窓材質/暑さ -/mm C(ダイヤモンド)/0.29
ターゲット材質 - W(タングステン)
X線照射角 Deg. 168(最大)、80(80%以上、等距離)
外部制御 - RS-232C(G-311MH-DPは外部接点入力あり)

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